Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik 18 The parameters of these optimization

The parameters of these optimization problems (e

Die Arbeit beginnt mit einer Einführung zum Thema CRM

first proposed by CAVALIER-SMITH (1974) for eukaryotic DNA repli cation

das beide Strategien in sich birgt

Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik 18 The parameters of these optimizationDiplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universitt Chemnitz (Fakultt fr Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum fr Mikrotechnologien), Sprache: Deutsch, Abstract: Vor dem Hintergrund der in der Mikroelektronik Fertigung heute verbreiteten Kupfertechnologie werden in der vorliegenden Arbeit drei neuartige metallorganische Verbindungen, nmlich phosphitstabilisierte Kupfer(I) Trifluoracetat Komplexe